終了操作

まず、前述の グリッドを交換する場合 の手順に従い、試料を取り出す。

(BEAM止める、ステージニュートラルにする)

以下に終了作業の流れを示す。

// graphviz での作成の流れ digraph G1 { graph [size="5,3"]; node [shape=box] a b c d e f g h; node [shape=circle] x y; a [label="電子銃の終了動作"]; b [label="右側PCの終了"]; c [label="CCDカメラの終了動作"]; d [label="圧力計のレンジ切替"]; e [label="使用した絞りを全て外す"]; f [label="ACDタンクにヒーターをセット"]; g [label=" ベーキング"]; h [label="その他機器のシャットダウン"]; x [label=""]; y [label=""]; a->b ; b->c ; c->d ; d->x; y->e; e->f; f->g [label="カメラが0℃以上"]; g->h ; }

図 46 終了操作

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図 47 電子銃の終了動作

FEG Stand By Mode Normal から Stand By にする
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図 48 右側PCの終了

camera inserted のチェックを外した後、

Gatan DigitalMicrography を終了して

右側のモニタ off に

警告

Gatan DigitalMicrography 終了の際の注意点

アプリ終了時に固まることがあるがその際は右側CPUの主電源を直接切るしかない。

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図 49 CCDカメラの終了動作

CCDカメラを cool から warm

にする(レバーを下げる)
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図 50 圧力計のレンジ切替

圧力計のMeterRangeを

1×10E5k から 10ｋV に切り替える
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図 51 使用した絞りを全て外す。

通常は集束レンズのみを使用している
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図 52 ACDタンクにヒーターをセット
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図 53 ベーキング

メニューバー Meintance-ACD & Bake ‣ ACD Heat

の ON をクリック
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図 54 その他機器のシャットダウン

その他機器のシャットダウン

  • サンプルホルダーの真空引き
  • CCDカメラを warm から OFF に
  • 左側PCのモニタ電源を切る(CPUは起動したまま)

警告

使用簿(水色のB4サイズのファイル)に使用記録を書き込む。気になった点があれば、機器ノート(A4サイズのノート)に記入してください。使用簿は使用料集計のため、機器ノートは装置管理のためですので、よろしくお願いします。

異常、疑問を感じたら、必ず、共用推進支援センター事務室・村井(3169)、または、鎌足(3900, 090-4192-6475)に連絡ください。