試料観察

以下に示したフローチャートの手順で、試料観察を行う。

// graphviz での作成の流れ digraph G1 { graph [size="4,2"]; node [shape=box] a b c d ; a [label="調整完了" ]; b [label="撮影開始"]; c [label="顕微操作"]; d [label="画像の保存"]; a->b [label="OK"]; a->c [label="No"]; c->a; b->d; }

図 38 試料観察

  1. start acquire を押して撮影を行う。
  2. 撮影した画像は、 tif形式 で保存する。

顕微操作

倍率を変更する場合

  1. まず、 [F1] 又は [F6] を押して蛍光板を下げる。
  2. その後、 MAG を変更して倍率を変更する。
  3. 次に、電子線の中心とサイズの調整を行う。
  4. F1 を押して、蛍光板を上げる。
  5. 先ほどと同様に、観察場所、focusを合わせて観察を行う。
../_images/fig01.png

図 39 倍率変更の際の操作

観察場所を変更する場合

  1. ホイールを回して、観察したい場所を変える。
../_images/fig51.png

図 40 観察位置に移動する

ホイールを回して観察位置に移動する（ [CRS] を押すと移動が早くなる）。
  1. 撮影を行う。

グリッドを交換する場合

// graphviz での作成の流れ digraph G1 { graph [size="5,3"]; node [shape=box] a b c d e f ; a [label="電子線の停止"]; b [label="試料の位置のリセット"]; c [label="試料ホルダーを引き抜く"]; d [label="グリッドを交換"]; e [label="試料ホルダーを挿入"]; f [label="真空度を確認して測定を再開"]; node [shape=circle] x y; x [label=""]; y [label=""]; a->b ; b->c ; c->x [label="試料引き抜きは2段階ステップ"]; y->d d->e ; e->f [label="試料挿入は2段階ステップ"]; }

図 41 試料交換の流れ

../_images/picture_01.png

図 42 電子線の停止

左パネルの [BEAM] を押してGUNバルブを閉じる。
../_images/picture_02.png

図 43 試料の位置のリセット

左モニタの黒字の [Stage Neutral] をダブルクリックして、

試料の位置を元に戻す。
../_images/picture_03.png

図 44 試料ホルダー引き抜きの手順

図の手順で引き抜く。

詳細な手順は図44を参照
../_images/picture_08.png

図 45 試料ホルダーを引き抜く

試料ホルダーを２段階目まで引き抜き、

つぎにノズルを下げて真空を解除する。

15秒ほど待った後

（又は PEG4/Specimenの値が200μA程度 になる）

試料ホルダーを引き抜く。

また、顕微操作の実際の手順は、以下の動画後半に示した。

顕微鏡の調整の流れ（ビデオダウンロード）

※これ以降は、グリッドを交換し前述の 試料挿入 に戻って、同様に操作を行う。

警告

試料ホルダーの取り出し、挿入は常に最大限の注意を払うこと