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透過型・走査型電子顕微鏡 (TEM, SEM, EDX)

JEOL JEM-2100、日立H-7000 S-4800、S-4300、S-3000N

JEOL JEM-2100  設置場所:機器分析室4

Hitachi H-7000  設置場所:機器分析室5

センターには日本電子(株)社製JEM-2100(高分解能観察、電子線回折、STEM観察、EDX分析、3Dトモグラフ )および日立(株)製H-7000が設置されており、医学生物科学および材料科学における試料の総合的分析が可能であり、分析が日常的に行われている。

1)透過像観察(TEM) (機器分析室4、5)
 生物材料および非生物材料の超薄切片を100倍から100万倍に拡大して、その微細構
造を観察することができる。分解能は、1.44 A(格子像)から2.1 A(点観察像)である。加速電圧は75 kVから200 kVまでの5段階選択であるので、いろいろな厚さの切片が使用可能である。像の焦点合わせを含め、すべてがコンピューターで制御されているため、初心者でも即座に十分な観察データをとることができる。

2)電子線回折(ED) (機器分析室4)

 結晶性の薄膜試料について、制限視野回折法により回折像を得、その試料の結晶学的構造に関する情報を得ることができる。本装置では、実像と回折像がよく調和するようにコンピューターで制御されている。

3)エネルギー分散型X線マイクロアナライザー(EDX) (機器分析室4)
 試料に電子ビームを当て、放出される特性X線のエネルギーをシリコン検出器で受け、含まれる元素の分析を行うことができる(エネルギー分散型)。SEM像、TEM像を観察しながら希望の部位の点分析、線分析および面分析を行うことができ、得られたデータはKevex DELTA社製PC接続キットFLAMEで定性、定量的に処理することができる。また、画像処理により、元素の分布を実像と重ね合わせるなどいろいろな表現方法が可能である。

4)電子線エネルギー分析(EELS) (機器分析室4)
 電子線が試料を通過するときに失うエネルギーを分析し、試料の構成元素を調べることができる。主としてB、C、N、Oなどの軽元素の分析に用いる。エネルギー分解能は4 eVである。

日立 S-4800  設置場所:機器分析室6

日立 S-4300  設置場所:機器分析室6

日立 S-3000N  設置場所:機器分析室6

1)走査像観察(SEM) (機器分析室6)
厚さ0.5 mmまでの組織、細胞、細菌、ウイルスおよび無機材料の表面構造を3 nmの分解能で観察することができる。試料作製のための臨界点乾燥装置とイオンコーティング装置もセンターに設置してある。

2)エネルギー分散型X線マイクロアナライザー(EDX) (機器分析室6)
 試料に電子ビームを当て、放出される特性X線のエネルギーをシリコン検出器で受け、含まれる元素の分析を行うことができる(エネルギー分散型)。SEM像、TEM像を観察しながら希望の部位の点分析、線分析および面分析を行うことができ、得られたデータはKevex DELTA社製PC接続キットFLAMEで定性、定量的に処理することができる。また、画像処理により、元素の分布を実像と重ね合わせるなどいろいろな表現方法が可能である。

試料調製用装置:
1) 超ミクロトーム(機器分析室6)
2) 真空蒸着装置(機器分析室6)
3) 臨界点乾燥装置(機器分析室6)
4) イオンスパッター装置(機器分析室6)

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