メンバー紹介

教員

小宮山正治教授

科学・技術　相談分野
レーザ計測技術、燃焼診断、時空間流動解析
共同研究希望分野
温度・濃度計測、燃焼器の開発、流動解析
最終取得学位
博士（工学）
所属学協会
日本機械学会
日本燃焼学会
日本伝熱学会
可視化情報学会
日本ガスタービン学会

西田哲准教授

科学・技術　相談分野
CVDプロセスを用いた薄膜形成・材料作成
原子間顕微鏡を用いた微小領域の電気特性評価
共同研究希望分野
プラズマプロセスによる薄膜形成、材料作成、表面処理
最終取得学位
博士（理学）
所属学協会
応用物理学会(結晶工学分科会)
日本化学工学会（反応工学部会CVD反応分科会)
CVD研究会
大気環境学会
日本大気化学会
日本化学会

集合写真

2017年3月25日卒業式

20170325卒業式

研究テーマ

H28年度修士論文

  • n型Si単結晶基板上a-Siパシッベーション膜の製膜、アニール条件最適化
  • シリコンナノ構造膜の高速製膜と凝集微粒子の評価

H28年度卒業論文

  • グラファイト、炭素繊維等の炭素表面へのプラズマ処理とその効果
  • 旋回羽根を有する燃焼器における燃料と空気の動的挙動解析
  • プラズマジェットCVD法を使用したシリコン微粒子凝集膜の作製条件探索
  • p型Si結晶基板の表面処理条件と成膜後のライフタイムの関係
  • 旋回強さ時間的変化環境下における希薄予混合火炎の挙動解析
  • 銅基板上でのシリコンナノ構造膜の作製
  • 燃料不均一場における希薄予混合火炎の燃焼特性
  • 半導体レーザを用いた衝撃波後方の熱気流温度測定に関する研究

H27年度修士論文

  • Siの液中酸化を用いたa-Si/c-Siヘテロ接合界面における漏れ電流抑制技術の 開発
  • α-Si/c-Siヘテロ接合基板のAFMによる繰り返し測定時の電流像変化に関する研 究
  • シリコン単結晶基板の新規表面処理法の開発
  • シリコンヘテロ接合型太陽電池におけるa-Si:Hパッシベーション膜のアニール による高品質化

H27年度卒業論文

  • プラズマCVD法によるアモルファスシリコンパッシベーション膜の高品質化
  • 液中陽極酸化によるSiヘテロ接合部での漏洩電流抑制手法についての研究
  • 衝撃波管内に形成される流動場に関する基礎的研究
  • 衝撃波管を用いた超音速流れ場の可視化に関する研究
  • 非平衡プラズマジェットCVDを用いたシリコン微粒子作製条件の探索
  • 燃焼器内部における旋回流れを伴う火炎挙動のPIV計測に関する研究

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