岐阜大学 コアファシリティ機器共用連携室

共用機器紹介

装置写真

概要

	イオンスパッタ
名称	イオンスパッタ日立 (E-1010)
品番	E-1010
メーカー	日立
用途	イオンスパッタ日立 E-1010は、TEM観察に使うカーボン支持膜などの疎水性基板の表面を親水性にするために用いる。イオンスパッタ装置のターゲットを外した状態で放電させ、放電領域のそばに基板を置くことで親水性にすることができる。
設置場所	医学部総合棟 7F