本研究室では、主としてホットワイヤーCVD(Cat-CVD)法を用いて、 (図1 参照)アモルファスシリコンおよび微結晶薄膜系太陽電池の開発を行っています。 最近、光入射層にp型アモルファスシリコンカーボン合金薄膜を用いて ヘテロ接合型アモルファス太陽電池の作製に成功し、変換効率が7.58%に達しました。 現在、変換効率10%以上を目指して、日々、実験に取り組んでいます。

　また、太陽電池用透明電極の保護膜としてのTiO₂薄膜の開発も進めています。 最近、TiO₂に微量に窒素を添加することに成功し、屈折率の制御が可能となりました。 これを実際に太陽電池に応用することにより、変換効率の向上が期待されています。

　一方、アモルファスシリコン薄膜系太陽電池では、変換効率の光劣化が問題になっています。 光劣化抑止の糸口をつかむため、アモルファスシリコン薄膜における光誘起体積変化について 研究を行っています。 さらに、半導体薄膜の光吸収スペクトル測定のための光熱ベンディング分光法の高感度化や、 線熱膨張係数の測定技術開発も行っています。